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伴随着半导体产业的迅猛发展,半导体器件生产设备要求猛增,相对应的分析也快速发展趋势。因为研究起步较晚,与外国差别大约20年。机器设备被外国垄断性,在其中晶棒整形一体机是半导体材料光伏材料生产加工的主要设备之一,一样被外国垄断性。国内机器设备选用分离式设计方案,精密度差、效率低、自动化技术水平低、进口产品成本增加,生产能力比较有限,交货期长,比较严重限制了中国半导体业的发展趋势.为了解决这一难题,碳化硅晶体专用型晶棒整形一体机。
对于目前的碳化硅晶体在在开展检验整形全过程中,一般全部都是选用人工去进行,人工的工作效能低,且传统式的碳化硅晶体在检验整形美容全过程中,自动化技术水平低的难题,现指出如下所示计划方案,其包含床体,上述床的身上设有立杆,立杆上设有托板,托板上设有2个主轴轴承头,2个主轴轴承头顶均设有砂轮,砂轮的下边设有坐落于床的身上的操作台,床体的一侧设有工作台,气动刹车开启,使全部操作台固定不动,随后内孔砂轮下刀开展切削,操作台左右挪动,在旋光性部位切削mm创口,能够主题活动挪动的手推车台,完成了自动化技术对碳化硅晶体开展检验整形方便使用。